潔凈室緩沖與隔離
潔凈室的壓差控制是防止污染物滲人或逸出潔凈室的重要措施。但是當(dāng)需要的壓差值太大，不容易達(dá)到時，就要加設(shè)輔助設(shè)施。常用的輔助設(shè)施有緩沖室、氣閘室、氣幕室和空氣吹淋室。輔助設(shè)施也稱為緩沖設(shè)施，其作用是防止將室外污染物帶人室內(nèi)，或者減少室內(nèi)污染物發(fā)生量。當(dāng)人或物從非潔凈區(qū)進(jìn)人潔凈區(qū)時，應(yīng)通過緩沖設(shè)施。
(1)氣閘室設(shè)置在潔凈室出人口、阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制的小室叫氣閘室。氣閘室的幾個門，在同一時間內(nèi)只能打開一個，這樣做是為了防止外部受污染的空氣流人潔凈室內(nèi)。當(dāng)兩側(cè)需要的壓差太大且難以達(dá)到時，可以設(shè)置氣閘室。
氣閘室是一間門連鎖不能同時開啟的房間，不送潔凈風(fēng)的這種房間最多起緩沖作用。這樣的緩沖不能有效防止外界污染物入侵，因為當(dāng)進(jìn)入這個氣閘室時，外界污染空氣已經(jīng)隨人的進(jìn)入而進(jìn)入，當(dāng)再開二道門進(jìn)入潔凈室時，又把已被污染的氣閘室內(nèi)的空氣帶入潔凈室。
(2) 緩沖室緩沖室是位于潔凈室人口處的小室。同氣閘室一樣，緩沖室的幾個門，在同一時間內(nèi)只能打開一個。緩沖室一方面是為了防止污染物進(jìn)人潔凈室，另一方面還具有補(bǔ)償壓差的作用。緩沖室相對于潔凈室為負(fù)壓，相對室外環(huán)境為正壓。緩沖室屬于準(zhǔn)潔凈區(qū)域，緩沖室內(nèi)也要進(jìn)行適量的潔凈送風(fēng)，使其潔凈度達(dá)到將要進(jìn)人的潔凈室的潔凈度等級。
(3) 空氣吹淋室 空氣吹淋室利用噴嘴噴出的高速氣流使衣服抖動起來，從而把衣服表面沾的塵粒吹掉。它通常設(shè)置在潔凈室的人員入口處。

垂直單向流潔凈室由于自凈能力強(qiáng)，無湍流現(xiàn)象，人員散塵能迅速被回風(fēng)帶走而不至于污染產(chǎn)品，鑒于這種有利條件，可不設(shè)吹淋室而改設(shè)氣閘室。

(4) 傳遞窗 設(shè)置在不同級別的潔凈區(qū)，以及潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間的隔墻上，可以防止兩潔凈區(qū)之間物體流經(jīng)非潔凈區(qū)時被污染，通過傳遞窗，可以把物品、工件、產(chǎn)品等進(jìn)行傳遞。它設(shè)有兩扇不能同時開啟的門，可將兩邊的空氣隔斷，防止污染空氣進(jìn)人潔凈區(qū)。